[发明专利]一种紫外LED在金属蚀刻中图像转移上的运用方法在审
| 申请号： | 201710102732.5 | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN108508703A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 曾旭 | 申请（专利权）人： | 宁波东盛集成电路元件有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人： | 肖应国 |
| 地址： | 315800 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种紫外LED在金属蚀刻中图像转移上的运用方法，所述紫外LED设置有500颗灯珠，灯珠呈辐射状陈列成圆形，灯珠的发光波长为365‑395纳米；所述紫外LED运用在金属蚀刻中图像转移工序的曝光机上；紫外LED采用灯后冷却的方式，紫外LED的使用寿命为8000‑10000次本发明的紫外LED灯单支使用寿命大于五年，更加节能环保，便于拆装，便于维护，降低了维护更换费用，节约生产成本；光照度稳定，提高了曝光效果，进一步提高金属蚀刻效果；发热量小，产生热量的仅为现有技术水银灯管的5％，节能70％以上，从耗电量及维护维修成本上均远远优于水银灯管，具有极大的市场推广价值。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外LED 金属蚀刻 图像转移 灯珠 使用寿命 水银灯 节约生产成本 发热量 紫外LED灯 便于拆装 发光波长 节能环保 曝光效果 市场推广 维护维修 辐射状 光照度 耗电量 后冷却 陈列 节能 曝光 维护 | ||
【主权项】：
1.一种紫外LED在金属蚀刻中图像转移上的运用方法，其特征在于，所述紫外LED设置有500颗灯珠，灯珠呈辐射状陈列成圆形，灯珠的发光波长为365‑395纳米；所述紫外LED运用在金属蚀刻中图像转移工序的曝光机上。
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