[发明专利]一种紫外LED在金属蚀刻中图像转移上的运用方法在审
申请号: | 201710102732.5 | 申请日: | 2017-02-24 |
公开(公告)号: | CN108508703A | 公开(公告)日: | 2018-09-07 |
发明(设计)人: | 曾旭 | 申请(专利权)人: | 宁波东盛集成电路元件有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人: | 肖应国 |
地址: | 315800 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 紫外LED 金属蚀刻 图像转移 灯珠 使用寿命 水银灯 节约生产成本 发热量 紫外LED灯 便于拆装 发光波长 节能环保 曝光效果 市场推广 维护维修 辐射状 光照度 耗电量 后冷却 陈列 节能 曝光 维护 | ||
1.一种紫外LED在金属蚀刻中图像转移上的运用方法,其特征在于,所述紫外LED设置有500颗灯珠,灯珠呈辐射状陈列成圆形,灯珠的发光波长为365-395纳米;所述紫外LED运用在金属蚀刻中图像转移工序的曝光机上。
2.根据权利要求1所述的紫外LED在金属蚀刻中图像转移上的运用方法,其特征在于,所述紫外LED采用灯后冷却的方式,紫外LED的使用寿命为8000-10000次。
3.根据权利要求1所述的紫外LED在金属蚀刻中图像转移上的运用方法,其特征在于,所述金属蚀刻的方法包括以下步骤:
1)清洁框架玻璃及聚酯薄膜:打开曝光机,用酒精清洁框架玻璃及聚酯薄膜,用汽油清洁菲林;
2)片管员根据随工单的型号、版本日期及设计人与菲林进行相关内容的核对确认,确认合格后转交操作员工作;曝光前定位操作员自检菲林,根据随工单的型号、版本日期及设计人再次确认菲林的正确性;
3)启动曝光机:采用水冷曝光机,曝光机灯管紫外LED,开启主电源电闸,开启曝光机启动开关,接着进入界面,按系统开启;检查曝光指数设置在所需数值上;
4)自检:首件检验,对首次曝光产品打级数,显影后在日光灯下,将显影不良部分勾出,并与工作菲林进行对照,对菲林的不良部分进行修正;
5)进行曝光工序:打开框架,放入基板,抽真空,放下框架锁紧,板刷赶气,推入曝光机中进行曝光;
6)关闭曝光机,关闭电源总开关。
4.根据权利要求3所述的紫外LED在金属蚀刻中图像转移上的运用方法,其特征在于,关闭电源总开关后,对红片菲林进行清洁。
5.根据权利要求3所述的紫外LED在金属蚀刻中图像转移上的运用方法,其特征在于,首件检验合格后进行批量生产,母版使用期限为两年,两年未使用的做报废处理;首件检查,以图形转移的误差在±0.01以内为合格。
6.根据权利要求3所述的紫外LED在金属蚀刻中图像转移上的运用方法,其特征在于,曝光级数要求为5-10级,每隔半小时/次打级数并检查其它工艺参数符合性,每小时做一次记录;检验表面有无白点、划伤等缺陷。
7.根据权利要求3所述的紫外LED在金属蚀刻中图像转移上的运用方法,其特征在于,所述步骤1)中,菲林清洁:30-35张/次,菲林双面每次清洁2次,麦拉膜清洁1次,并做记录;材料清洁:特殊产品曝光前每张板材经过粘尘机清洁,粘尘机使用前后及时清理干净。
8.根据权利要求3所述的紫外LED在金属蚀刻中图像转移上的运用方法,其特征在于,所述步骤2)中,规定有字的菲林为正面,并且朝下,正面菲林的左上、中、右下检验三点,错位≤0.005mm。
9.根据权利要求3所述的紫外LED在金属蚀刻中图像转移上的运用方法,其特征在于,所述步骤5)中,抽真空条件为-0.08MPa至-0.10MPa;曝光室环境温度为25±5℃,相对湿度为40-60%。
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