[发明专利]一种真空设备工艺腔室壁板再生处理方法

摘要

本发明公开了一种真空设备工艺腔室壁板再生处理方法，包括以下步骤：（1）产品受入；（2）抛光清洗前处理；（3）聚氨酯贴膜；（4）脱脂；（5）水洗；（6）碱洗；（7）水洗；（8）酸洗；（9）水洗；（10）化学抛光；（11）水洗；（12）钝化；（13）水洗1；（14）水洗2；（15）阳极氧化；（16）水洗1；（17）水洗2；（18）封孔；（19）水洗；（20）抛磨清洗；（21）超音波清洗；（22）吹干；（23）烘烤；（24）包装。本发明与现有技术相比，具有以下有益效果：本发明再生维修的壁板耐候性强，客户在使用过程中没有出现起皮现象，得到了市场的广泛认可。

主权项

1.一种真空设备工艺腔室壁板再生处理方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)产品受入，侧框架拆除；(2)抛光清洗前处理，人工用手持抛光机去除零部件表面的污渍，抛光过程中喷淋纯水，无粉尘产生；(3)聚氨酯贴膜，用聚氨酯贴膜贴在工件上，将不需要氧化的地方遮蔽；(4)脱脂，5％氢氧化钠的稀溶液加热，工件浸泡，浸泡2min～3min，去除表面油脂；(5)水洗，常温纯水浸洗，水洗1min，清洗表面的脱脂残留液体；(6)碱洗，10％氢氧化钠溶液，加热到50℃,工件浸泡，浸泡1min～2min，去除表面的氧化层；(7)水洗，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面的氢氧化钠残留液体；(8)酸洗，10％硝酸稀溶液加热到50℃，工件浸泡，浸泡2min～3min，去除碱洗槽中产生的生成物；(9)水洗，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面的硝酸残留液体；(10)化学抛光，化抛槽内加入8％的化学抛光液，加热到50℃，工件浸泡，浸泡1min～2min，以降低表面粗糙度；(11)水洗，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面的化学抛光液残留液体；(12)钝化，50％的浓硝酸液，加热到50℃，工件浸泡，浸泡2min～3min，使工件表面产生钝化层，更容易成膜；(13)水洗1，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面残留的硝酸溶液；(14)水洗2，常温超纯水浸洗，水洗时间1min，进一步清洗工件表面残留的硝酸溶液；(15)阳极氧化，工件通电，表面长出一层氧化铝膜；(16)水洗1，常温超纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面残留的硫酸溶液；(17)水洗2，50℃超纯水浸洗，水洗时间1min，同时对工件进行预热；(18)封孔，采用100℃的超纯水沸水进行封孔；(19)水洗，50℃超纯水浸洗，水洗时间1min，对工件进行降温；(20)抛磨清洗，人工用手持抛光机，对工件表面进行打磨，降低粗糙度，抛磨过程喷淋纯水，无粉尘产生；(21)超音波清洗，纯水常温，对抛磨不到的地方进行超音波震荡清洗；(22)吹干，干燥压缩空气，吹干工件表面的水渍；(23)烘烤，工件放在烤箱内，80℃，烘烤1小时；(24)包装，工件在无尘室内，双层抽真空PE材料包装。