[发明专利]一种真空设备工艺腔室壁板再生处理方法

权利要求书

1.一种真空设备工艺腔室壁板再生处理方法，其特征在于：包括以下步骤：

(1)产品受入，侧框架拆除；

(2)抛光清洗前处理，人工用手持抛光机去除零部件表面的污渍，抛光过程中喷淋纯水，无粉尘产生；

(3)聚氨酯贴膜，用聚氨酯贴膜贴在工件上，将不需要氧化的地方遮蔽；

(4)脱脂，5％氢氧化钠的稀溶液加热，工件浸泡，浸泡2min～3min，去除表面油脂；

(5)水洗，常温纯水浸洗，水洗1min，清洗表面的脱脂残留液体；

(6)碱洗，10％氢氧化钠溶液，加热到50℃,工件浸泡，浸泡1min～2min，去除表面的氧化层；

(7)水洗，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面的氢氧化钠残留液体；

(8)酸洗，10％硝酸稀溶液加热到50℃，工件浸泡，浸泡2min～3min，去除碱洗槽中产生的生成物；

(9)水洗，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面的硝酸残留液体；

(10)化学抛光，化抛槽内加入8％的化学抛光液，加热到50℃，工件浸泡，浸泡1min～2min，以降低表面粗糙度；

(11)水洗，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面的化学抛光液残留液体；

(12)钝化，50％的浓硝酸液，加热到50℃，工件浸泡，浸泡2min～3min，使工件表面产生钝化层，更容易成膜；

(13)水洗1，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面残留的硝酸溶液；

(14)水洗2，常温超纯水浸洗，水洗时间1min，进一步清洗工件表面残留的硝酸溶液；

(15)阳极氧化，工件通电，表面长出一层氧化铝膜；

(16)水洗1，常温超纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面残留的硫酸溶液；

(17)水洗2，50℃超纯水浸洗，水洗时间1min，同时对工件进行预热；

(18)封孔，采用100℃的超纯水沸水进行封孔；

(19)水洗，50℃超纯水浸洗，水洗时间1min，对工件进行降温；

(20)抛磨清洗，人工用手持抛光机，对工件表面进行打磨，降低粗糙度，抛磨过程喷淋纯水，无粉尘产生；

(21)超音波清洗，纯水常温，对抛磨不到的地方进行超音波震荡清洗；

(22)吹干，干燥压缩空气，吹干工件表面的水渍；

(23)烘烤，工件放在烤箱内，80℃，烘烤1小时；

(24)包装，工件在无尘室内，双层抽真空PE材料包装。

2.根据权利要求1所述的真空设备工艺腔室壁板再生处理方法，其特征在于，所述阳极氧化过程中，电流密度2～2.5安培/平方分米，处理10分钟。

3.根据权利要求1所述的真空设备工艺腔室壁板再生处理方法，其特征在于，所述阳极氧化过程中，电解液含有硫酸100～200克/升，草酸1～3克/升，羟基乙酸1～5克/升，甘油10～20克/升，电解液温度15～20℃。

4.根据权利要求1所述的真空设备工艺腔室壁板再生处理方法，其特征在于，所述化学抛光液成分为氢氧化钠、硝酸钠、亚硝酸钠和水。