[发明专利]一种表面缺陷检测方法

摘要

本发明公开了一种表面缺陷检测方法，属于检测技术领域。用以解决现有表面疵病检测，存在不能在短时间内获得高分辨率的检测结果的问题。包括将被测件设置在置物台上，当第一入射光通过被测件后形成第一散射光时，设置在被测件正上方的第一图像采集单元获取第一散射光，并根据第一散射光确定被测件被照射区域存在疵病；将存在疵病区域确定为第一被测块，第二入射光通过第二聚焦镜投射到第一被测块，当第二入射光通过第一被测块后形成第二散射光，通过设置在置物台上方的导光管，进入光电探测器；其中，在被测件被上确定第一被测块后，第一入射光停止照射所述被测件。

主权项

一种表面缺陷检测方法，其特征在于，包括：将被测件设置在置物台上，从与所述被测件成第一夹角的第一方向向所述被测件投射第一入射光，当所述第一入射光通过所述被测件后形成第一散射光时，设置在所述被测件正上方的第一图像采集单元获取所述第一散射光，并根据所述第一散射光确定所述被测件被照射区域存在疵病；将存在疵病区域确定为第一被测块，第二入射光依次通过斩波器，扩束系统，第一聚焦镜，光路转折组件和第二聚焦镜投射到所述第一被测块，当所述第二入射光通过所述第一被测块后形成第二散射光，通过设置在所述置物台上方的导光管，进入光电探测器；其中，在所述被测件被上确定所述第一被测块后，所述第一入射光停止照射所述被测件。