[发明专利]金属箔材表面处理高通量样品制备与表征的装置及方法

摘要

本发明主要属于金属表面处理、表征、系统性数据积累与数据智能化应用技术领域，涉及金属箔材表面处理高通量样品制备与表征装置及方法。所述装置包括金属箔材表面处理高通量样品制备与表征综合控制系统、金属箔材表面处理高通量样品制备系统、金属箔材表面处理高通量样品表征系统、制备与表征数据存储系统以及在上述各系统间实现有效连接的连接系统，并可包含智能化数据应用系统。本发明主要特征及优势在于，将高通量思想和方法应用到金属表面处理领域，实现自动化、流水线式金属箔材表面处理高通量样品制备、表征及数据积累，最大限度减少人为因素影响，缩短实验周期，大大提高金属表面处理工艺筛选与优化、金属腐蚀数据系统性积累工作效率。

主权项

1.一种金属箔材表面处理高通量样品制备与表征的装置，其特征在于，所述装置能够实现条带状金属箔材表面处理高通量样品的自动化流水线式制备和性能表征；所述装置包括：高通量样品制备系统，对金属箔材连续进行表面处理以获得条带状金属箔材表面处理高通量样品，所述表面处理过程中的制备工艺参数能够自动化连续调控，对不同工艺参数条件下生产的条带状金属箔材表面处理高通量样品进行逐一定位与标记，以便记录每段样品的实验日期和所用工艺参数，与后续金属箔材表面处理高通量样品的表征与筛选建立一一对映关系；高通量样品表征系统，测试与表征设备以模块式集成在金属箔材表面处理高通量样品表征系统的流水线上，能够对所述条带状金属箔材表面处理高通量样品的性能进行流水线式连续测试表征；高通量样品制备与表征综合控制系统，包括高通量样品制备综合控制系统和高通量样品表征综合控制系统；所述高通量样品制备综合控制系统能够根据需要对所述高通量样品制备系统中所述制备工艺参数进行自动化连续调控；所述高通量样品表征综合控制系统能够根据需要对所述高通量样品表征系统中流水线上的测试与表征设备产生并发送测试指令，并保证在不同制备工艺参数下获得的金属箔材表面处理样品准确通过测试与表征设备并作合适时间的停留，保证对金属箔材表面处理高通量样品性能表征的准确进行；连接系统，用于实现所述装置中各系统间的数据、指令的通讯连接以及必要的物质传送。