[发明专利]监视装置以及真空泵有效
| 申请号： | 201710060781.7 | 申请日： | 2017-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN107304773B | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 小崎纯一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D27/00 | 分类号： | F04D27/00;F04D19/04;F04D29/58 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够提高维护时期的推断精度的监视装置以及真空泵。监视装置(100)包括：推断部(105)，基于由基座温度传感器(6)随着时间检测出的多个基座温度(Tb)，推断出基座温度(Tb)达到作为阈值的规定温度(T2)的维护时期；以及显示部(104)及输出部(108)，输出基于推断出的所述时期的维护信息。 | ||
| 搜索关键词： | 监视 装置 以及 真空泵 | ||
【主权项】：
1.一种监视装置，其是真空泵的监视装置，其特征在于所述真空泵包括：马达，相对于设置于泵基底部的定子而旋转驱动转子；加热部，对所述泵基底部进行加热；基座温度检测部，检测所述泵基底部的温度；转子温度检测部，检测相当于所述转子的温度的物理量的温度相当量；以及加热控制部，以使所述转子温度检测部的检测值处于规定目标值范围内的方式，控制所述加热部对于所述泵基底部的加热，所述监视装置包括：推断部，基于由所述基座温度检测部随着时间检测出的多个温度，推断出所述泵基底部的温度为规定温度以下的维护时期；以及输出部，输出基于推断出的所述维护时期的维护信息；所述真空泵具有检测所述转子的转速的转速检测部、与检测所述马达的马达电流值的电流检测部，且包括判定部，所述判定部基于所述转速的时间变化及所述马达电流值，判定所述真空泵是否处于气体流入状态，所述推断部在所述判定部判定为处于气体流入状态时，基于所述基座温度检测部所检测出的温度来进行推断。
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