[发明专利]量具和具有这种量具的位置测量装置有效
| 申请号： | 201710057025.9 | 申请日： | 2017-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN106996798B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | S.丰克;P.施佩克巴歇尔 | 申请（专利权）人： | 约翰内斯·海德汉博士有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/34 | 分类号： | G01D5/34;G01D5/26;G01B11/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 臧永杰;杜荔南 |
| 地址： | 德国特劳*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及量具和具有所述量具的位置测量装置。描述具有振幅光栅的量具，所述量具用于具有光学扫描的位置测量装置，所述量具具有载体（T），反射层（S）布置在所述载体（T）上，接着是透明的间隔层（A），对于结构化成光栅的部分透明层（M）布置在所述间隔层（A）上，部分透明层（M）限定亮暗模式，其中具有部分透明层（M）的区域显得暗，而没有部分透明层（M）的区域显得亮。密封层（V）布置在结构化的部分透明层（M）上。在此适用的是，针对间隔层（A）和密封层（V）的折射率（n |
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| 搜索关键词： | 量具 具有 这种 位置 测量 装置 | ||
【主权项】：
用于具有光学扫描的位置测量装置的量具，所述量具具有载体（T），反射层（S）布置在所述载体（T）上，接着是透明的间隔层（A），结构化的部分透明层（M）布置在所述间隔层（A）上，所述部分透明层（M）限定亮暗模式，其中具有所述部分透明层（M）的区域显得暗，而没有所述部分透明层（M）的区域显得亮，其特征在于，密封层（V）布置在所述结构化的部分透明层（M）上，其中针对所述间隔层（A）和所述密封层（V）的折射率（nA、nV）和层厚（dA、dV）的乘积是相同的，或者相差奇数倍。
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