[发明专利]用于选通驱动器件的相变材料、选通驱动器件及其制备方法在审
| 申请号： | 201710056494.9 | 申请日： | 2017-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN107068858A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 刘波;宋志棠;封松林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于选通驱动器件的相变材料、选通驱动器件及其制备方法，用于选通驱动器件的相变材料的通式为Y1‑xAsx，其中，Y为包括至少一种第六主族元素的相变材料，0＜x≤0.3。本发明的所述用于选通驱动器件的相变材料通过在相变材料中掺杂砷原子，可以在相变材料中形成导电通道，从而提高相变材料的相变临界电压及开启后的电流密度；当所述相变材料用于选通驱动器件时，利用相变材料的OTS开关特性实现开启和关闭，同时在选通驱动器件开启状态时，砷原子掺杂形成的导电通道可提供大的驱动电流，用于驱动相变存储单元的相变以实现信息的存储和擦除；使用所述相变材料的选通驱动器件可以实现三维集成，从而大大提高存储器的集成度和存储密度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 驱动 器件 相变 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于选通驱动器件的相变材料，其特征在于，所述用于选通驱动器件的相变材料的通式为：Y1‑xAsx，其中，Y为包括至少一种第六主族元素的相变材料，0＜x≤0.3。
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