[发明专利]蒸镀方法及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201710055136.6 | 申请日： | 2017-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN108342692B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 彭兆基;邱林;李倩;何麟;高峰 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸镀方法及蒸镀设备。上述蒸镀方法包括如下步骤：将蒸镀材料放置于蒸镀设备的蒸镀源中，将蒸镀源与待蒸镀基板相对设置，且蒸镀源的开口朝向待蒸镀基板；对蒸镀源进行加热至预设温度后，移动蒸镀源和/或待蒸镀基板，使蒸镀源相对于待蒸镀基板，在平行于待蒸镀基板的平面上移动的轨迹为波浪线。采用上述蒸镀方法进行蒸镀时，即使TS距离较小，由于蒸镀源相对于待蒸镀基板，在平行于待蒸镀基板的平面上移动的轨迹为波浪线，则shadow effect贡献度低、分布均匀且无周期性波动，不容易形成低视角G向mura，从而能够提高蒸镀PPI。此外，本发明还涉及一种可采用上述蒸镀方法的蒸镀设备。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀方法，其特征在于，包括如下步骤：将蒸镀材料放置于蒸镀设备的蒸镀源中，将所述蒸镀源与待蒸镀基板相对设置，且所述蒸镀源的开口朝向所述待蒸镀基板；对所述蒸镀源进行加热至预设温度后，移动所述蒸镀源和/或所述待蒸镀基板，使所述蒸镀源相对于所述待蒸镀基板，在平行于所述待蒸镀基板的平面上移动的轨迹为波浪线。
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