[发明专利]晶片检查有效
| 申请号： | 201710053384.7 | 申请日： | 2012-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN107064167B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 阿纳托利·罗曼诺夫斯基;伊万·马列夫;丹尼尔·卡瓦尔德杰夫;尤里·尤迪特斯凯;迪尔克·沃尔;史蒂文·比耶拉卡 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶片检查。本发明揭示一种经配置以检查晶片的系统，该系统包括照明子系统，其经配置以使由所述照明子系统将多个脉冲光束中的第一者引导到晶片上的区域在时间上早于将所述多个脉冲光束中的第二者引导到所述区域；扫描子系统，其经配置以使所述多个脉冲光束跨所述晶片进行扫描；集光子系统，其经配置以使从所述晶片上的所述区域散射的光成像到一个或多个传感器；计算机子系统，其经配置以使用所述一个或多个传感器的所述输出来检测所述晶片上的缺陷。本发明中的系统可优化检查速度及/或灵敏性。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 检查 | ||
【主权项】：
一种经配置以检查晶片的系统，其包括：照明子系统，其经配置以将光脉冲引导到晶片上的区域；扫描子系统，其经配置以使所述光脉冲跨所述晶片进行扫描；集光子系统，其经配置以使从所述晶片上的所述区域散射的光脉冲成像到传感器，其中所述传感器经配置以对一定数目的所述散射光脉冲进行积分，所述散射光脉冲的所述数目少于可成像于所述传感器的整个区域上的所述散射光脉冲的数目，且其中所述传感器经配置以响应于所述积分的散射光脉冲而产生输出；及计算机子系统，其经配置以使用由所述传感器产生的所述输出来检测所述晶片上的缺陷。
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