[发明专利]单晶硅片制绒预清洗液的添加剂及其应用有效
| 申请号： | 201710048880.3 | 申请日： | 2017-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN106833954B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 王强;符杰;张丽娟;陈培良 | 申请（专利权）人： | 常州时创能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/06 | 分类号： | C11D7/06;C11D7/26;C11D7/60;C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶硅片制绒预清洗液的添加剂，其各组分的质量百分含量为：聚乙二醇1%～20%，丙二醇丙醚0.1%～2.0%，水解聚马来酸酐1.0%～5.0%，余量为水。本发明还提供一种单晶硅片制绒预清洗液，其含有碱溶液和上述添加剂。本发明还提供一种单晶硅片的制绒方法，先利用上述单晶硅片制绒预清洗液对单晶硅片进行预清洗，再制绒。本发明添加剂能大大提高预清洗液的清洗效果，既可以清除硅片表面的有机沾污和金属杂质，又能去除硅片表面的机械损伤层，且残留在硅片表面的预清洗液即使混入制绒液，也不会影响制绒液的绒效率效果，故硅片不需要再次漂洗，可直接进行表面制绒，进而提高制绒效率和效果。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 片制绒预 清洗 添加剂 及其 应用 | ||
【主权项】：
单晶硅片制绒预清洗液的添加剂，其特征在于，其各组分的质量百分含量为：聚乙二醇1%～20%，丙二醇丙醚0.1%～2.0%，水解聚马来酸酐1.0%～5.0%，余量为水。
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