[发明专利]一种精密对准式纳米压印设备

摘要

本发明涉及压印设备技术领域，尤其涉及一种精密对准式纳米压印设备。其包括压印壳体和压印平台，所述压印壳体的底部边缘至少设有3组伸缩式压力传感器并与所述压印平台的边缘相对应，所述压印平台的底部至少设有三组伺服升降装置，用以驱动压印平台实现上升和下降，压印壳体上的伸缩式压力传感器通过与伺服升降装置之间的协调配合，实现压印壳体与压印平台之间的相对调平工作。本发明采用三个伺服驱动系统垂直移动，三个压电晶体做为垂直微调机构，位移平台作为水平移动机构，以激光位移传感器和机械式位移传感器实时监测工作盘的位置，以显微镜和显示器作为可视机构，能够实时的观察到工作区的工艺进度，在每个动作控制中非常精密。

主权项

1.一种精密对准式纳米压印设备，包括压印壳体和压印平台，其特征在于，所述压印壳体的底部边缘至少设有3组伸缩式压力传感器，并与所述压印平台的边缘相对应，所述压印平台的底部至少设有三组伺服升降装置，用以驱动压印平台实现上升和下降，压印壳体上的伸缩式压力传感器通过与伺服升降装置之间的协调配合，实现压印壳体与压印平台之间的相对调平工作；所述压印壳体呈长方体，其内底面安装有横向导轨，在横向导轨的左右两部分均安装有传动丝杆，且左右两部分的传动丝杆上分别安装有显微镜和UVLED灯，所述显微镜和UVLED灯均通过带有传动丝杠的竖向导轨连接安装在横向导轨中的传动丝杆上；所述横向导轨和竖向导轨内的传动丝杆均通过电机驱动；所述压印壳体的底部还安装上连接盘，所述上连接盘中部安装有上真空工作盘，所述的伸缩式压力传感器安装在所述上真空工作盘与压印壳体边缘之间的上连接盘上，且其一侧还安装有激光测距传感器；所述压印平台包括支撑架、升降系统、移动平台和工作平台，所述升降系统安装在支撑架上，其采用至少三组的伺服升降装置来实现安装在其上的移动平台进行上下移动，所述移动平台能够分别或同时进行X轴、Y轴和旋转运动，所述移动平台上部设有通过压电晶体固定支撑的加热平台，加热平台上安装有下工作盘，所述下工作盘的外侧固定有下连接盘与所述上连接盘相对应，所述工作平台除包括下工作盘和加热平台外，还包括采用气缸作为升降动力的定位杆，所述定位杆设置在下工作盘上；所述下工作盘和上工作盘上均设有真空槽，用以通过抽真空的方式实现对压印材料的压差式定位和固定；所述定位杆设置在下工作盘上的真空槽的空隙中；所述定位杆的顶部也设有真空槽，用以形成气压差来实现对压印材料的固定；所述压印壳体中的横向导轨、竖向导轨、激光测距传感器、伸缩式压力传感器和上真空工作盘以及压印平台中的下工作盘、升降平台、加热平台和定位气缸之间的协调工作和阈值设定均通过HMI进行参数设定和启动开关操作。