[发明专利]一种用于裂变径迹化学蚀刻的设备及方法

摘要

本发明涉及一种用于裂变径迹化学蚀刻的设备及方法，设备包括恒温装置、样品装填装置、卸载装置、装置和操作系统。本发明利用恒温控制单元，包括温度传感器、半导体恒温器和泵阀装置实现裂变径迹的恒温蚀刻；利用样品装填和卸载装置实现样品自动安装和拆卸；通过驱动装置，包括压力传感器，定时完成样品蚀刻和清洗。本发明配置操作系统，可根据实验需要调整蚀刻时间、蚀刻温度和样品数量，实现了裂变径迹化学蚀刻的自动化。与现有技术相比，本发明安全性更好、蚀刻效率更高、蚀刻时间控制更为精确。

主权项

1.一种用于裂变径迹化学蚀刻的设备，其特征在于：包括恒温装置、样品驱动装置和操作系统；所述恒温装置包括一盛水池，池内装有去离子水，同时池内设置有泵阀装置、半导体恒温器、温度传感器和蚀刻皿，蚀刻皿中装有蚀刻液并放置有温度计，所述去离子水和蚀刻液不相混；所述样品驱动装置包括一支架，支架上安装一驱动电机，所述驱动电机驱动连接一臂杆，使所述臂杆在竖直面内旋转；所述臂杆端部连接一蚀刻模具，所述蚀刻模具内装有蚀刻样品，所述蚀刻模具随所述臂杆旋转，进出所述去离子水中和蚀刻液中；所述样品驱动装置还包括两个压力传感器，一个置于能够感应到所述蚀刻模具完全处于蚀刻液中的位置，另一个置于能够感应到所述蚀刻模具完全处于水中的位置；所述操作系统包括控制器、显示屏、功能键、仪表，操作系统与所述设备中的所有电器件电连接；所述设备还包括样品装填装置，所述样品装填装置包括样品台、第一驱动电机、第二驱动电机、第三驱动电机、装填杆、装填卡具；所述样品台由第一驱动电机驱动在水平面内旋转，同时由第二驱动电机驱动在水平面内平移，第三驱动电机驱动连接装填杆，使装填杆可以水平伸缩；样品台上放置装填卡具，所述装填杆的前方指向装填卡具，塞片和蚀刻样品成组预先放在装填卡具中，样品在前、塞片在后，当所述蚀刻模具与装填卡具相对时，所述装填杆将塞片和蚀刻样品推进蚀刻模具中。