[发明专利]回转定孔式运动扫描装置

摘要

本发明回转定孔式运动扫描装置属于显微测量技术领域，具体涉及一种用于椭球反射照明显微测量装置中的扫描机构；该装置由移动机构和固定在旋转机构上的旋转机构组成；所述移动机构由电机、丝杠、滑块、限位器和挡光片组成；所述旋转机构由光阑、驱动光阑在其所在平面内转动的旋转台和底座组成；通过改变电机的参数，使挡光片上的小孔停留在扇形开口的任意位置处，从而改变径向照明角度；通过改变旋转台的参数，使扇形开口停留在任意方向，从而改变轴向照明角度；本发明回转定孔式运动扫描装置，针对椭球反射照明显微测量装置的特殊结构，提供了一种能够置于显微测量装置内部的扫描机构，实现了径向30至120度的扫描范围以及轴向360度的扫描范围。

主权项

回转定孔式运动扫描装置，其特征在于，由移动机构和固定在旋转机构上的旋转机构组成；所述移动机构由电机(1)、丝杠(2)、滑块(3)、限位器(4)和挡光片(5)组成；所述电机(1)的转轴连接丝杠(2)，所述丝杠(2)上安装有能够沿丝杠(2)运动的滑块(3)，在丝杠(2)的两端设置有限定滑块(3)位置的限位器(4)，所述挡光片(5)固定安装在滑块(3)上，并随滑块(3)一起运动，挡光片(5)上开有通光孔；电机(1)的转轴转动，驱动丝杠(2)旋转，从而使滑块(3)带动挡光片(5)沿与丝杠(2)平行的直线方向运动；所述旋转机构由光阑(6)、驱动光阑(6)在其所在平面内转动的旋转台(7)和底座(8)组成；所述光阑(6)底部设置有凸起结构，凸起结构边缘与光阑(6)边缘之间的区域均匀分布有多个定位孔，光阑(6)中心设置有通孔，从所述通孔到圆周设置有圆心角为1度的扇形开口，所述扇形开口的开口方向与挡光片(5)的运动方向相同，所述旋转台(7)固定安装在底座(8)上，旋转台(7)顶部为与凸起结构相配合的沉孔结构；通过改变电机(1)的参数，使挡光片(5)上的小孔停留在扇形开口的任意位置处，从而改变径向照明角度；通过改变旋转台(7)的参数，使扇形开口停留在任意方向，从而改变轴向照明角度。