[发明专利]回转定孔式运动扫描装置

说明书

技术领域

本发明回转定孔式运动扫描装置属于显微测量技术领域，具体涉及一种用于椭球反射照明显微测量装置中的扫描机构。

背景技术

基于椭球反射镜照明的显微测量装置，采用大数值孔径的椭球反射镜，并且椭球反射镜的远焦点与照明物镜的焦点重合，此处提供照明光源，近焦点处放置实验样品，即可获得前向与后向的大角度照明。利用椭球反射镜照明获得前向与后向的大角度照明，能够有效地克服显微系统分辨力受数值孔径限制的不足，大幅度提高系统的横向分辨力及轴向分辨力，具有广阔的应用前景。

在显微测量技术领域，扫描照明的技术手段被广泛采用，椭球反射照明显微测量装置也不例外。不仅如此，扫描装置还是椭球反射照明显微测量装置中重要组成部分。由于椭球反射镜照明方式的特殊性，需要将扫描装置置于显微测量装置的内部，因此传统的振镜或转镜等设置在显微测量装置外部的扫描方式无法直接应用到椭球反射照明显微测量装置中。

发明内容

为了解决传统振镜或转镜扫描结构无法直接应用到椭球反射照明显微测量装置中的问题，本发明公开了一种回转定孔式运动扫描装置，针对椭球反射照明显微测量装置的特殊结构，提供了一种能够置于显微测量装置内部的扫描机构，实现了径向30至120度的扫描范围以及轴向360度的扫描范围。

本发明的目的是这样实现的：

回转定孔式运动扫描装置，由移动机构和固定在旋转机构上的旋转机构组成；

所述移动机构由电机、丝杠、滑块、限位器和挡光片组成；所述电机的转轴连接丝杠，所述丝杠上安装有能够沿丝杠运动的滑块，在丝杠的两端设置有限定滑块位置的限位器，所述挡光片固定安装在滑块上，并随滑块一起运动，挡光片上开有通光孔；电机的转轴转动，驱动丝杠旋转，从而使滑块带动挡光片沿与丝杠平行的直线方向运动；

所述旋转机构由光阑、驱动光阑在其所在平面内转动的旋转台和底座组成；所述光阑底部设置有凸起结构，凸起结构边缘与光阑边缘之间的区域均匀分布有多个定位孔，光阑中心设置有通孔，从所述通孔到圆周设置有圆心角为1度的扇形开口，所述扇形开口的开口方向与挡光片的运动方向相同，所述旋转台固定安装在底座上，旋转台顶部为与凸起结构相配合的沉孔结构；

通过改变电机的参数，使挡光片上的小孔停留在扇形开口的任意位置处，从而改变径向照明角度；通过改变旋转台的参数，使扇形开口停留在任意方向，从而改变轴向照明角度。

有益效果：

第一、在本发明通过改变挡光片上通光孔的位置实现扫描的方式，使得本发明扫描装置能够置于显微测量装置内部，实现了径向30至120度的扫描范围以及轴向360度的扫描范围。

第二、本发明电机的参数和旋转台的参数能够利用计算机精确控制，实现通光孔高精度定位，从而提高椭球反射照明显微测量装置的分辨率。

附图说明

图1是本发明回转定孔式运动扫描装置在椭球反射照明显微测量装置中的位置示意图。

图2是本发明回转定孔式运动扫描装置的结构示意图。

图3是光阑6、旋转台7和底座8之间的装配示意图。

图中：1电机、2丝杠、3滑块、4限位器、5挡光片、6光阑、7旋转台、8底座、9椭球反射镜、10回转定孔式运动扫描装置、11照明物镜。

具体实施例

下面结合附图对本发明具体实施例作进一步详细描述。

本实施例的回转定孔式运动扫描装置，在整个椭球反射照明显微测量装置中的位置，如图1所示。

该回转定孔式运动扫描装置的结构示意图如图2所示。所述回转定孔式运动扫描装置由移动机构和固定在旋转机构上的旋转机构组成；

所述移动机构由电机1、丝杠2、滑块3、限位器4和挡光片5组成；所述电机1的转轴连接丝杠2，所述丝杠2上安装有能够沿丝杠2运动的滑块3，在丝杠2的两端设置有限定滑块3位置的限位器4，所述挡光片5固定安装在滑块3上，并随滑块3一起运动，挡光片5上开有通光孔；电机1的转轴转动，驱动丝杠2旋转，从而使滑块3带动挡光片5沿与丝杠2平行的直线方向运动；

所述旋转机构由光阑6、驱动光阑6在其所在平面内转动的旋转台7和底座8组成；所述光阑6底部设置有凸起结构，凸起结构边缘与光阑6边缘之间的区域均匀分布有多个定位孔，光阑6中心设置有通孔，从所述通孔到圆周设置有圆心角为1度的扇形开口，所述扇形开口的开口方向与挡光片5的运动方向相同，所述旋转台7固定安装在底座8上，旋转台7顶部为与凸起结构相配合的沉孔结构；光阑6、旋转台7和底座8之间的装配示意图如图3所示。

通过改变电机1的参数，使挡光片5上的小孔停留在扇形开口的任意位置处，从而改变径向照明角度；通过改变旋转台7的参数，使扇形开口停留在任意方向，从而改变轴向照明角度。