[发明专利]一种具有高储能密度固态电介质电容器及其制备方法有效
| 申请号： | 201710034941.0 | 申请日： | 2017-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN106710878B | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 姚曼文;苏振;李菲;彭勇;陈建文;姚熹 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | H01G4/33 | 分类号： | H01G4/33;H01G4/10;H01G13/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有高储能密度固态电介质电容器及其制备方法，电容器包括自下而上依次设置的衬底基片、下部电极、氧化铝/二氧化钛复合电介质薄膜及上部电极，下部电极涂覆在衬底基片上，氧化铝/二氧化钛复合电介质薄膜位于上部电极和下部电极之间，上部电极和下部电极为具有阳极氧化能力的阀金属薄膜。与现有技术相比，本发明具有易于生产、用途范围广、储能密度高、安全可靠等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 高储能 密度 固态 电介质 电容器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有高储能密度固态电介质电容器的制备方法，其特征在于，该方法采用以下步骤：(1)制备氧化铝/二氧化钛复合前驱胶体：(1‑1)往铝醇盐溶液中加入乙酰丙酮，搅拌混合后，再加入冰醋酸，再继续搅拌混合，冷却过滤后，得到溶胶前驱体；(1‑2)在制备好的溶胶前驱体中加入纳米二氧化钛粒子，在80℃下搅拌均匀，形成复合前驱体；(2)采用磁控溅射或蒸发镀膜法在衬底基片上制备一层导电薄膜，作为下部电极；(3)将氧化铝/二氧化钛复合前驱体采用旋涂法涂覆在下部电极的表面，进行此过程5～9次，每次涂覆后进行热处理，达到所需厚度后在450～520℃的温度下退火处理2～4h，制得氧化铝/二氧化钛复合电介质薄膜；(4)采用蒸发镀膜法或磁控溅射法在氧化铝/二氧化钛复合电介质薄膜上制备一层具有阳极氧化能力的薄膜，作为上部电极，得到电容器单元；(5)将制备好的电容器单元或将电容器单元组合，通过绝缘介质进行封装固化，再进行两端引线，制得高储能密度固态薄膜集成电路电容器。
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