[发明专利]用于制造控制的信号检测方法在审
| 申请号： | 201710019660.8 | 申请日： | 2017-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN107066668A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 朴东锡;A·瓦伊德;B·K·G·奈尔 | 申请（专利权）人： | 格罗方德半导体公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司11314 | 代理人： | 程伟,王锦阳 |
| 地址： | 英属开曼群*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造控制的信号检测方法，其提供一种用于代表各单独的制程信号配置的模拟单独处理步骤以及制造参数的方法以及设备，本发明的实施例包括通过一编程处理器，在半导体设备制造的处理步骤期间收集电子特征形式的晶圆级数据；在各该处理步骤期间将该电子特征转换为信号矩阵(MS)建模参数；比较该MS建模参数与预定的MS建模参数；以及根据该比较步骤的一结果，调整至少一处理步骤以用于制程控制。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 控制 信号 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种方法，其特征为，该方法包括：通过一编程处理器收集在一半导体设备制造的处理步骤期间的电子特征形式的晶圆级数据；在各该处理步骤期间将该电子特征转换为信号矩阵(MS)建模参数；比较该MS建模参数与预定的MS建模参数；以及根据该比较步骤的一结果，调整至少一处理步骤以用于制程控制。
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