[发明专利]一种大面积单层胶体微球阵列的制备方法在审

专利信息
申请号: 201710013940.8 申请日: 2017-01-10
公开(公告)号: CN108285126A 公开(公告)日: 2018-07-17
发明(设计)人: 程亚娟;相鹏伟;赵喆;白尚礼;周文生;叶圣麟 申请(专利权)人: 苏州工业园区洛加大先进技术研究院
主分类号: B82B3/00 分类号: B82B3/00
代理公司: 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 代理人: 张芹
地址: 215123 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种大面积单层胶体微球阵列的制备方法,首先对基片进行亲水性处理,同时将二氧化硅微球均匀分散在水溶液中形成胶体溶液;之后将该胶体溶液以旋涂法旋涂在基片上。本发明运用实验设计与统计分析方法优化工艺参数,通过亲水处理基片、湿度控制、综合优化工艺参数等技术手段,制备的单层胶体微球阵列的面积可达到1cm2,同时无缺陷区域面积达到4000μm2,是现有单层胶体微球阵列无缺陷面积的15~20倍。
搜索关键词: 胶体微球 单层 制备 胶体溶液 二氧化硅微球 优化工艺参数 亲水性处理 无缺陷区域 技术手段 亲水处理 湿度控制 实验设计 综合优化 统计分析 旋涂法 旋涂
【主权项】:
1.一种大面积单层胶体微球阵列的制备方法,其特征在于,所述制备方法具体包括以下步骤:(1)基片的亲水性处理首先将基片浸入浓硫酸和过氧化氢的混合溶液,然后将基片用去离子水冲洗干净并吹干;(2)胶体球溶液的制备将直径为1.5μm的SiO2微球与去离子水机械混合之后超声分散,得到胶体球溶液;(3)单层胶体微球阵列的制备用旋涂法将(2)所得的胶体球溶液均匀分散在亲水处理过的基片上,调整旋涂工艺参数制备出大面积单层胶体微球阵列。
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