[发明专利]大型平面光学元件表面疵病的检测装置和检测方法

摘要

一种大型平面光学元件表面疵病的检测装置和检测方法，检测装置由一个待测光学元件模块、两个显微检测模块、一台计算机组成，其中两个检测模块的结构和配置完全相同，二者相对放置，分别位于待测光学元件的两侧，用于对待测光学元件的两个表面同时进行疵病检测，计算机用于对整机进行控制。本发明具有使用简单、元件双面同时检测、占地面积小、检测速度快、使用效率高的特点，尤其适用于大型平面元件在生产过程中或结束后的表面疵病检测。

主权项

一种大型平面光学元件表面疵病的检测装置，其特征在于该装置包括一个待测光学元件模块(S)、相对地置于待测光学元件模块(S)两侧的第一显微检测模块(A)、第二显微检测模块(B)和计算机(P)，所述的待测光学元件模块(S)由待测光学元件(1)、元件上底座(2)和元件下底座(3)三者组成，所述的元件下底座(3)具有承载元件上底座(2)的滑槽，该滑槽的宽度略大于所述的元件上底座(2)下端的宽度，该滑槽的一端安装有元件上底座(2)的限位挡块，所述的待测光学元件(1)竖直地固定在所述的元件上底座(2)上；所述的第一显微检测模块(A)、第二显微检测模块(B)的结构和配置完全相同，均由水平电动导轨(4)、竖直电动导轨(5)、自动调焦控制器(6)和显微成像单元(7)组成，所述的竖直电动导轨(5)垂直地固定在所述的水平电动导轨(4)上，所述的自动调焦控制器(6)安装在所述的竖直电动导轨(5)上，所述的显微成像单元(7)安装在自动调焦控制器(6)上，所述的水平电动导轨(4)和竖直电动导轨(5)驱动所述的自动调焦控制器(6)和显微成像单元(7)在平行于待测光学元件(1)的表面的平面内移动，所述的自动调焦控制器(6)自动控制所述的显微成像单元(7)与所述的待测光学元件(1)的表面之间的距离，使所述的待测光学元件(1)的表面始终处于显微成像单元(7)的焦平面，所述的显微成像单元(7)由水平方向依次的工业相机(7‑1)、显微镜头组(7‑2)和环形照明光源(7‑3)组成；所述的计算机(P)的输出端与所述的第一显微检测模块(A)的水平电动导轨(4)、竖直电动导轨(5)、自动调焦控制器(6)的控制端相连，和第二显微检测模块(B)的水平电动导轨(4)、竖直电动导轨(5)、自动调焦控制器(6)的控制端相连，所述的工业相机(7‑1)与所述的计算机(P)之间建立通讯联系。