[发明专利]带电粒子束装置有效
| 申请号： | 201680086707.6 | 申请日： | 2016-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN109314029B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 小柳宗和;铃木渡;扬村寿英 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 范胜杰;王立杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的带电粒子束装置具备角度与镜体不同的光学摄像装置，其中，在使样本与光学摄像装置相对时，样本有可能与其他部件碰撞。本带电粒子束装置具备：载物台，其承载样本，使样本在样本室内部移动；镜体，其向样本照射带电粒子束而观察样本；第一摄像装置，其从与该镜体不同的角度，观察样本的被照射带电粒子束的面；控制部，其在通过第一摄像装置观察样本时，在使样本从镜体离开后，通过载物台使样本倾斜使得样本与第一摄像装置相对。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：载物台，其承载样本，使上述样本在样本室内部移动；镜体，其向上述样本照射带电粒子束而观察上述样本；第一摄像装置，其从与上述该镜体不同的角度，观察上述样本的被照射带电粒子束的面；控制部，其在通过上述第一摄像装置观察上述样本时，在使上述样本从上述镜体离开后，通过上述载物台使上述样本倾斜，使得上述样本与上述第一摄像装置相对。
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