[发明专利]带电粒子线装置有效
| 申请号： | 201680086434.5 | 申请日： | 2016-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN109314030B | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 中村光宏;板桥洋宪;佐藤博文;斋藤勉;笹岛正弘;津野夏规;中村洋平 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/075;H01J37/252 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;金成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 为了提供即使相对于高真空环境下的非导电性试料也能检测稳定的二次粒子(23)、电磁波(24)并能进行良好的观察、分析的带电粒子线装置，使带电粒子线装置具有：带电粒子枪(12)；使带电粒子线(20)在试料(21)上进行扫描的扫描偏转器(17、18)；检测从外部向扫描偏转器输入的扫描控制电压的检测部(40、41)；基于检测到的扫描控制电压来计算带电粒子线(20)的照射像素坐标的运算部(42)；以及根据照射像素坐标控制向试料(21)的带电粒子线(20)的照射的照射控制部(45)。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 线装 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子线装置，其特征在于，具有：带电粒子枪；使从上述带电粒子枪射出的带电粒子线在试料上进行扫描的扫描偏转器；检测从外部向上述扫描偏转器输入的扫描控制电压的检测部；基于检测到的上述扫描控制电压来计算上述带电粒子线的照射像素坐标的运算部；以及根据上述照射像素坐标来控制向上述试料的上述带电粒子线的照射的照射控制部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日立高新技术，未经株式会社日立高新技术许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680086434.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
