[发明专利]研磨材有效
| 申请号： | 201680077666.4 | 申请日： | 2016-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN108472789B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 西藤和夫;岩永友树;笹岛启佑;田浦歳和 | 申请（专利权）人： | 阪东化学株式会社 |
| 主分类号： | B24D7/00 | 分类号： | B24D7/00;B24D3/00;B24D7/06;B24D11/00;B24D11/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本兵库县神户市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种研磨效率不易降低、且研磨成本相对较低的研磨材。所述研磨材具备基材、及层叠于所述基材的表面侧且含有研磨粒及其粘合剂的研磨层，并且所述研磨层在其表面具备由槽所划分的多个研磨部，且沿着研磨方向具有多个研磨部的占有面积率不同的多种区域，沿着研磨方向而邻接的一对所述区域的多个研磨部的占有面积率的差为3％以上且21％以下。所述各区域可具有可包含在俯视下直径为5cm的圆的大小。沿着研磨方向而邻接的一对区域中，一个区域中的多个研磨部的占有面积率优选为4.5％以上且9％以下，另一区域中的多个研磨部的占有面积率优选为9％以上且16％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 | ||
【主权项】：
1.一种研磨材，具备基材、及层叠于所述基材的表面侧且含有研磨粒及其粘合剂的研磨层，并且所述研磨材的特征在于：所述研磨层在其表面具备由槽所划分的多个研磨部，且沿着研磨方向具有所述多个研磨部的占有面积率不同的多种区域，沿着研磨方向而邻接的一对所述区域的多个研磨部的占有面积率的差为3％以上且21％以下。
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