[发明专利]用于处理腔室的高温加热器有效
| 申请号： | 201680075161.4 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108432342B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | A·S·波利亚克;J·尤多夫斯基;G·K·邝 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H05B3/14 | 分类号： | H05B3/14;H01L21/67;H05B3/40 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;金红莲 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了加热器组件，所述加热器组件包括具有表面和中心轴线的圆柱形主体，所述加热器组件包括多个加热元件。所述多个加热元件在所述圆柱形主体的所述表面上轴向地间隔开。所述加热元件中的每一个形成轴向间隔开的加热区。每个加热元件具有螺旋形状，所述螺旋形状具有限定所述加热元件的长度的内部端和外部端。所述螺旋形状的每个线圈与相邻线圈间隔开足以防止相邻线圈之间电弧放电的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 高温 加热器 | ||
【主权项】：
1.一种加热器组件，包括：圆柱形主体，所述圆柱形主体具有表面和中心轴线；和多个加热元件，所述多个加热元件在所述圆柱形主体的所述表面上轴向地间隔开，所述多个加热元件中的每一个形成轴向间隔开的加热区，每个加热元件具有螺旋形状，所述螺旋形状具有限定所述加热元件的长度的内部端和外部端，所述螺旋形状的每个线圈与相邻线圈间隔开足以防止相邻线圈之间电弧放电的距离。
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