[发明专利]质量分析装置有效
| 申请号： | 201680072855.2 | 申请日： | 2016-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN108369890B | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 吉成清美;照井康 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J49/42 | 分类号： | H01J49/42;G01N27/62 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾贤伟;范胜杰<国际申请>=PCT/JP |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 兼顾减速离子的加速和减速离子的速度分散幅度的降低，来兼顾检测离子灵敏度的提高和分辨率提高。棒状电极(4‑2‑a)～(4‑2‑d)中的至少一组相对的棒状电极间的距离dx在离子入射的入口部和离子出射的出口部不同，使所述至少一组相对的棒状电极间的距离dx从入口部向出口部逐渐减少或者增加。 | ||
| 搜索关键词： | 棒状电极 离子 减速离子 出口部 入口部 质量分析装置 分散幅度 灵敏度 分辨率 出射 入射 检测 | ||
【主权项】：
1.一种质量分析装置，其具备2n根棒状电极以及控制部，该控制部对所述棒状电极施加直流电压U和高频电压VRFcosΩt而在所述棒状电极间生成高频的四极以上的多极电场，其特征在于，/n棒状电极中的至少一组相对的棒状电极间的距离，在离子入射的入口部和离子出射的出口部不同，/n所述至少一组相对的棒状电极间的距离从入口部向出口部逐渐减少，/n当出口部附近的、彼此相对的两组电极间的距离分别为dx、dy时，/n所述控制部根据dx、dy的值进行控制，以使两组电极间的各高频电压VRFcosΩt的振幅值VRFx、VRFy彼此不同。/n
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