[发明专利]处理设备和用于处理工件的方法在审
| 申请号： | 201680071890.2 | 申请日： | 2016-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN108369066A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | O·伊格劳尔;K·沃尔;迪特马尔·威兰 | 申请（专利权）人： | 杜尔系统股份公司 |
| 主分类号： | F26B21/02 | 分类号： | F26B21/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 德国比蒂格*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 为了提供一种构造简单且能够实现高能效工件处理的处理设备，建议该处理设备包括：处理室，该处理室包括多个处理室区段，所述处理室区段各自被分配给所述处理设备的多个单独的循环空气模块中的一个；加热设备，该加热设备包括自身闭合的加热气体管道，其中多个循环空气模块联接所述加热气体管道，特别用于加热被引导穿过所述处理室区段的气体。 | ||
| 搜索关键词： | 处理设备 加热气体管道 加热设备 循环空气 闭合 处理工件 工件处理 模块联接 高能效 加热 穿过 分配 | ||
【主权项】：
1.一种用于处理工件的处理设备(100)，包括：‑处理室，所述处理室包括多个处理室区段，所述处理室区段各自被分配给所述处理设备(100)的多个单独的循环空气模块(116)中的一个；‑加热设备(126)，所述加热设备包括自身闭合的加热气体管道(136)，其中特别为了加热被引导穿过所述处理室区段(114)的气体，多个循环空气模块(116)联接所述加热气体管道(136)。
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