[发明专利]检查装置及检查方法有效
| 申请号： | 201680070354.0 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN108369211B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 中村共则 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/72 | 分类号： | G01N27/72;G01R31/302 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 检查装置(1)具备：光输出部(3)，其输出具有第1波长的第1光及具有第2波长的第2光；磁光晶体(6)，其以反射膜(13)与测量对象物(D)相对的方式配置；光检测部(7)，其检测第1光及上述第2光；及导光光学系统(4A)，其将第1光及第2光向磁光晶体(6)及测量对象物(D)进行导光且将由磁光晶体(6)反射的第1光、与由测量对象物(D)反射的第2光向光检测部(7)进行导光；导光光学系统(4A)具有以第1光及第2光选择性地入射至光检测部(7)的方式切换由多个光学元件形成的光路的光路切换元件(M)。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，其特征在于，是进行测量对象物的检查的检查装置，具备：光输出部，其输出具有第1波长的第1光、及具有与所述第1波长不同的第2波长的第2光；磁光晶体，其具有反射所述第1光的反射面，且以该反射面与所述测量对象物相对的方式配置；光检测部，其检测所述第1光及所述第2光；及导光光学系统，其由多个光学元件构成，将所述第1光及所述第2光朝向所述磁光晶体及所述测量对象物进行导光，且将由所述磁光晶体反射的所述第1光、与由所述测量对象物反射的所述第2光朝向所述光检测部进行导光，所述导光光学系统具有以所述第1光及所述第2光选择性地入射至所述光检测部的方式，切换由所述多个光学元件形成的光路的光路切换元件。
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