[发明专利]光学压力传感器

摘要

本发明涉及由两个膜构成的光学压力传感器，诸如麦克风，但是其中声音不是垂直于膜到达而是从侧面进入。如在Fabry‑Perot那样，膜可以是平行的，或者像气楔剪切干涉仪那样稍微斜。压力传感器使用干涉读出，并且由具有基本相同特性的两个膜组成，其中至少一个膜部分透射且部分反射，而另一个膜至少部分反射，膜被由分隔器部件限定的腔分隔开，其中膜之间的距离是可变的以提供移位敏感的Fabry‑Perot谐振器，并且其中两个膜具有被密封或基本上以人们希望测量的频率密封的共同背部体积，并且其中，压力增加导致膜之间的距离沿相反的方向移动。

主权项

1.一种光学压力传感器，其使用压力变化的干涉读出，所述光学压力传感器包括具有基本相似机械特性的两个膜，其中，所述膜之中的至少一个膜部分透射且部分反射，并且其中，第二膜至少部分反射，所述膜被腔分隔开，所述腔由保持所述膜之间的距离的分隔器部件限定，所述膜由此提供干涉仪，所述传感器还包括用于感测在所述膜之间的距离变化的读出单元，并且其中，所述腔限定在所述膜之间的第一体积相对于所述膜外部的第二体积基本上是密封的，其中，在所述第一体积和所述第二体积中的一个体积表示参考体积，而另一个体积为受到压力变化的传感器体积，使得所述体积之一中的压力变化导致在所述膜之间的距离发生变化，所述膜沿相反的方向移动。