[发明专利]干式真空涡旋泵

摘要

干式涡旋真空泵包括具有壳体入口(24)和壳体出口(26)的泵壳体(12)、关于泵壳体固定的定涡盘(22)、具有轴线(70)和偏心轴部分(16)的驱动轴(14)、动涡盘(20)，其连接到偏心轴部分上使得在使用期间，轴的旋转将相对于定涡盘的轨道运行运动赋予动涡盘来在包括涡盘的涡盘机构(60)的机构入口(25)与机构出口(31)之间泵送气体；在所述轨道运行运动期间将气体从泵入口传送至机构入口的泵壳体内的入口压力下的入口真空区域(30)；形成在动涡盘内来引导冷却流体(80)的流动以冷却动涡盘的冷却流动通路(74)，冷却流动通路具有位于入口真空区域中的流体入口；以及用于使流体入口从入口真空区域密封而使得冷却流体可经由密封装置传送通过入口真空区域至流体入口的密封装置(82,100)。

主权项

1.一种干式涡旋真空泵，包括：泵壳体，其具有壳体入口和壳体出口；相对于所述泵壳体固定的定涡盘；具有轴线和偏心轴部分的驱动轴；动涡盘，其连接到所述偏心轴部分上，使得在使用期间，所述轴的旋转将相对于所述定涡盘的轨道运行运动赋予所述动涡盘，以用于在包括所述涡盘的涡盘机构的机构入口与机构出口之间泵送气体，入口真空区域，其处于所述泵壳体内的入口压力下，用于在所述轨道运行运动期间将气体从所述泵入口传送至所述机构入口；形成在所述动涡盘内以用于引导冷却流体流从而冷却所述动涡盘的冷却流动通路，所述冷却流动通路具有位于所述入口真空区域中的流体入口；以及密封装置，其用于使所述流体入口关于所述入口真空区域被密封，使得冷却流体可经由所述密封装置传送通过所述入口真空区域至所述流体入口。