[发明专利]干式真空涡旋泵

说明书

干式涡旋真空泵包括具有壳体入口(24)和壳体出口(26)的泵壳体(12)、关于泵壳体固定的定涡盘(22)、具有轴线(70)和偏心轴部分(16)的驱动轴(14)、动涡盘(20)，其连接到偏心轴部分上使得在使用期间，轴的旋转将相对于定涡盘的轨道运行运动赋予动涡盘来在包括涡盘的涡盘机构(60)的机构入口(25)与机构出口(31)之间泵送气体；在所述轨道运行运动期间将气体从泵入口传送至机构入口的泵壳体内的入口压力下的入口真空区域(30)；形成在动涡盘内来引导冷却流体(80)的流动以冷却动涡盘的冷却流动通路(74)，冷却流动通路具有位于入口真空区域中的流体入口；以及用于使流体入口从入口真空区域密封而使得冷却流体可经由密封装置传送通过入口真空区域至流体入口的密封装置(82,100)。

技术领域

本发明涉及一种干式真空涡旋泵及泵的冷却。

背景技术

涡旋真空泵包括容纳泵的构件的泵壳体。定涡盘相对于泵壳体固定。驱动轴具有同心轴部分和偏心轴部分，且动涡盘连接到偏心轴部分上，使得在使用期间，轴的旋转将相对于定涡盘的轨道运行运动赋予动涡盘，以在包括涡盘的涡盘机构的入口与出口之间泵送流体。

气体通过入口进入泵送机构，且捕集在涡盘之间的气穴中。随着动涡盘相对于定涡盘轨道运行，围绕螺旋或渐伸线路径朝向机构的中心出口压制这些凹穴，以逐步减小尺寸且实现压缩。泵送构件的压缩和操作的副产物是热能，其可累积在涡盘和泵的轴承机构中而降低性能。

发明内容

本发明的目的在于提供泵冷却。

本发明提供了一种干式涡旋真空泵，包括：具有壳体入口和壳体出口的泵壳体；相对于泵壳体固定的定涡盘；具有轴线和偏心轴部分的驱动轴；动涡盘，其连接到偏心轴部分上，使得在使用期间，轴的旋转将相对于定涡盘的轨道运行运动赋予动涡盘，以用于在包括涡盘的涡盘机构的机构入口与机构出口之间泵送气体；用于在所述轨道运行运动期间将气体从泵入口传送至机构入口的泵壳体内的入口压力下的入口真空区域；形成在动涡盘内以用于引导冷却流体流来冷却动涡盘的冷却流动通路，冷却流动通路具有位于入口真空区域中的流体入口；以及密封装置，其用于使流体入口关于入口真空区域密封使得冷却流体可经由密封装置传送穿过入口真空区域至流体入口。

作为优选，冷却流体是低真空的，且例如可在大约1.5bar到0.5bar之间且优选1.2到1.0bar之间的大气压的区域处或中。在该布置中，即使动涡盘在入口真空区域内运动，大气冷却流体穿过入口真空区域传送至流体入口。

冷却流体通路可具有位于入口真空区域中的流体出口，且密封装置使流体出口关于入口真空区域密封，使得低真空冷却流体可以经由密封装置传送穿过入口真空区域至流体出口。

优选存在反涡盘布置，其中定涡盘具有轴延伸通过其的开口，且轴连接到动涡盘上，其中动涡盘在与驱动电动机相对的定涡盘一侧上，且入口真空区域位于动涡盘附近。

在一个示例中，密封装置具有入口密封件，其具有固定在动涡盘的流体入口处的第一入口部分，相对于冷却流体传送穿过其间的泵壳体流体入口固定的第二入口部分，以及连接入口部分，其为柔性的，以在动涡盘相对于轴线在两个正交维度上移动期间允许第一入口部分与第二入口部分之间的相对轨道运行运动。

优选地，密封装置具有出口密封件，其具有固定在动涡盘的流体出口处的第一出口部分，相对于冷却流体传送穿过期间的泵壳体流体出口固定的第二出口部分，以及连接出口部分，其为柔性的，以在动涡盘相对于轴线在两个正交维度上移动期间允许第一出口部分与第二出口部分之间的相对轨道运行运动。

入口密封件和/或出口密封件可包括护罩密封件。