[发明专利]二维或三维形状的分层式表示有效
| 申请号： | 201680069094.5 | 申请日： | 2016-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN108292107B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | A·维尔马;S·C·科;A·J·范莱斯特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开包括以分层的方式描述形状的多种方法以及这种分层式描述的使用。具体地，本公开包括一种方法，该方法包括：针对于形状拟合第一阶的一个或更多个子形状；确定所述拟合的误差；以及针对于该误差拟合第二阶的一个或更多个子形状。 | ||
| 搜索关键词： | 二维 三维 形状 分层 表示 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：通过使用计算机系统针对于一形状拟合第一阶的子形状；通过所述计算机系统确定所述拟合的误差；以及通过使用所述计算机系统针对于所述误差拟合第二阶的子形状。
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