[发明专利]用于激光维持的等离子体照明的系统及方法有效
| 申请号： | 201680066059.8 | 申请日： | 2016-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN108353490B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | A·希梅尔吉;S·吴;J·维滕堡;L·威尔逊;R·亚达夫;I·贝泽尔;M·纳沃内;A·谢梅利宁 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种照明泵源。所述照明泵源包含一组电源，其经配置以产生一组激光束，其中所述组激光束的至少部分经配置以包含具有不同波长的照明。所述照明泵源还包含光纤。所述照明泵源还包含一或多个光学元件，所述一或多个光学元件经配置以使来自所述激光束的至少部分的所述照明耦合到所述光纤的一或多个区域。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光 维持 等离子体 照明 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种照明泵源，其包括：多个电源，其经配置以产生多个激光束，其中所述电源的至少部分发射含有具有不同波长的照明的激光束；光纤；及一或多个光学元件；其中所述一或多个光学元件经配置以使来自所述激光束的至少部分的所述照明耦合到所述光纤的一或多个区域。
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