[发明专利]用于激光生成等离子体光源的液滴产生有效
| 申请号： | 201680065118.X | 申请日： | 2016-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN108432349B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | B·阿尔;A·毕卡诺维;R·加西亚;L·C·哈尔;O·可哈达金 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明针对于一种装置，所述装置具有：喷嘴，其用于施配液体目标材料；一或多个中间室，每一中间室经定位以接收目标材料且形成有出口孔隙以输出目标材料以供在激光生成等离子体LPP室中进行下游辐照。在一些所揭示实施例中，包含控制系统以用于控制装置的中间室中的一个、一些或所有中间室中的气体温度、气体压力及气体组成物中的一或多者。在一个实施例中，揭示具有可调整长度的中间室。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光 生成 等离子体 光源 产生 | ||
【主权项】：
1.一种装置，其包括：喷嘴，其用于施配液体目标材料；中间室，其经定位以接收目标材料，所述中间室形成有出口孔隙以输出目标材料以供在激光生成等离子体室中进行下游辐照；及系统，其用于通过将经测量气体流引入到所述中间室中而控制所述中间室中的气体组成物。
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