[发明专利]图像生成方法、图像生成装置、图像生成程序及存储介质

摘要

图像生成装置是取得表示在半导体器件中流动的电流的方向的电流方向图像的装置，具备：信号施加部，其将刺激信号施加于半导体器件；磁检测部，其输出基于通过施加刺激信号而产生的磁性的检测信号；及图像生成部，其以根据基于刺激信号而生成的参照信号与检测信号的相位差，生成包含表示相位差的相位成分的相位图像数据，且基于相位图像数据，生成表示电流的方向的电流方向图像的方式构成。

主权项

1.一种图像生成方法，其特征在于，是生成表示在半导体器件中流动的电流的方向的图像的图像生成方法，包含：将刺激信号施加于所述半导体器件的步骤；检测通过所述刺激信号的施加而产生的磁性，且输出检测信号的步骤；根据基于所述刺激信号而生成的参照信号与所述检测信号的相位差，生成包含表示所述相位差的相位成分的相位图像数据的步骤；及基于所述相位图像数据，生成表示电流的方向的电流方向图像的步骤。