[发明专利]具有纵向和环形密封构件的真空泵在审

专利信息
申请号: 201680058427.4 申请日: 2016-07-27
公开(公告)号: CN108138571A 公开(公告)日: 2018-06-08
发明(设计)人: 金在号;S.凯拉萨姆 申请(专利权)人: 爱德华兹有限公司
主分类号: F01C19/00 分类号: F01C19/00;F01C21/10;F04C25/02;F04C27/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 李晨;邓雪萌
地址: 英国西萨*** 国省代码: 英国;GB
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摘要: 发明涉及一种多级真空泵,所述多级真空泵包括:第一和第二半壳式定子部件(102、104),其限定多个泵送腔室(106‑116)并用于沿着相应的纵向延伸密封面(118、120)组装在一起;第一和第二端定子部件(122、124),其用于组装在第一和第二半壳式定子部件的相应的纵向端面(126、128)处;纵向密封件(12),其用于当被组装在一起时,在第一和第二半壳式定子部件之间进行密封;以及环形密封件(146),其用于当被组装时,在第一和第二端定子部件以及第一和第二半壳式定子部件之间进行密封;环形密封构件和纵向密封构件在其之间形成平面状的密封接口。
搜索关键词: 定子部件 半壳 组装 环形密封构件 多级真空泵 密封 环形密封件 纵向密封件 泵送腔室 密封接口 纵向端面 纵向密封 密封面 平面状 真空泵
【主权项】:
一种多级真空泵,包括:第一和第二半壳式定子部件,所述第一和第二半壳式定子部件限定多个泵送腔室,所述第一和第二半壳式定子部件用于沿着相应的成对相互接合的纵向延伸密封面组装在一起;第一和第二端定子部件,所述第一和第二端定子部件用于组装在所述端定子部件以及所述第一和第二半壳式定子部件的相应的成对相互接合的端密封面处;纵向密封构件,所述纵向密封构件用于在每对相互接合的纵向延伸密封面之间进行密封;以及环形密封构件,所述环形密封构件用于在每对相互接合的端密封面之间进行密封;其中,所述环形密封构件与所述纵向密封构件之间的密封接口是平面状的。
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