[发明专利]薄膜制造方法及有机EL器件的制造方法

摘要

一实施方式的薄膜制造方法包括：涂布膜形成工序，一边使支承体相对于N根行式头通过一次，一边从第一行式头～第M行式头(M为2以上且N以下)将涂布液喷出在支承体上而形成涂布膜；以及干燥工序，在该干燥工序中，使涂布膜干燥而得到薄膜，第m行式头(m为2以上且M以下)的薄膜形成用喷孔(28)配置为位于第(m‑1)薄膜形成用喷孔列(Q

主权项

1.一种薄膜制造方法，一边对支承体进行搬运一边利用喷涂法在所述支承体上形成薄膜，/n所述薄膜制造方法的特征在于，包括：/n涂布膜形成工序，在该涂布膜形成工序中，一边使所述支承体相对于包括在所述支承体的搬运方向上分开配置的N根行式头在内的行式头组通过一次，一边从所述N根行式头中的第一行式头～第M行式头向所述支承体上的薄膜形成区域喷出包含薄膜形成用材料的涂布液，形成弹落到所述支承体的所述涂布液相连而成的涂布膜，其中，N为2以上的自然数，M为2以上且N以下的自然数；以及/n干燥工序，在该干燥工序中，使所述涂布膜干燥而得到薄膜，/n所述N根行式头分别具有在与所述搬运方向正交的方向即支承体宽度方向上排列的多个薄膜形成用喷孔，/n所述第一行式头～所述第M行式头在所述搬运方向上从上游朝向下游而以所述第一行式头～所述第M行式头的顺序配置，/n在将所述第一行式头～所述第M行式头中的第一行式头～第m行式头所具有的所述多个薄膜形成用喷孔向与所述搬运方向正交的假想平面投影而得到的薄膜形成用喷孔列设为第m薄膜形成用喷孔列的情况下，第m行式头所具有的所述多个薄膜形成用喷孔在第m行式头中配置为位于第(m-1)薄膜形成用喷孔列中的相邻的薄膜形成用喷孔之间，其中，m为2以上且M以下的自然数，/n在所述涂布膜形成工序中，所述第一行式头在多个喷出时机向所述支承体涂布所述涂布液，每当所述第一行式头在各所述时机涂布所述涂布液时，第m行式头在相对于所述第一行式头的所述喷出时机的规定的延迟时机向所述支承体涂布所述涂布液，/n所述第一行式头～所述第M行式头从根据所述薄膜形成区域的形状而选自所述第一行式头～所述第M行式头各自所具有的所述多个薄膜形成用喷孔中的薄膜形成用喷孔按照所述第一行式头～所述第M行式头各自的喷出时机向所述支承体喷出所述涂布液，/n所述第一行式头～所述第M行式头分别包括多个喷头，/n各所述喷头具有在所述支承体宽度方向上以规定的间隔配置的多个喷孔，/n所述多个喷头所具有的全部的所述多个喷孔中的至少一部分为所述多个薄膜形成用喷孔，/n在所述第一行式头～所述第M行式头中的各行式头中，所述多个喷头中的相邻的喷头配置为在从所述搬运方向观察时一部分重叠，/n所述第一行式头～所述第M行式头中的相邻的行式头各自所具有的所述多个喷头配置为，所述搬运方向上相邻的所述行式头中的上游侧的行式头中的所述相邻的喷头的重复区域与下游侧的行式头中的所述相邻的喷头的重复区域在从所述搬运方向观察时不重叠，/n所述规定的延迟时机是能够使所述第二行式头～所述第M行式头依次将涂布液弹落到从所述第一行式头被涂布液弹中的目标行上的时机。/n