[发明专利]彩色滤光片图像传感器用显影剂组合物

摘要

本发明涉及彩色滤光片图像传感器用显影剂组合物，更详细地说涉及显影力优秀，并且能够更均匀地形成图案且不会在显影后在基板上留下光致抗蚀剂残留物的彩色滤光片图像传感器用显影剂组合物。

主权项

1.一种彩色滤光片图像传感器用显影剂组合物，其特征在于，包含：由以下化学式1表示的水溶性聚合物；由以下化学式2或者化学式3表示的一种以上的非离子表面活性剂；以及碱性化合物；(化学式1)在所述化学式1中，n为1至50的整数，(化学式2)在所述化学式2中，R为H或者OH，x、y、z分别是选自0至100中的整数，若在x、y、z中选择的一个为0，则其余的是选自1至100中的整数，(化学式3)在所述化学式3中，w、x、y、z分别是选自0至20中的整数。