[发明专利]彩色滤光片图像传感器用显影剂组合物

说明书

本发明涉及彩色滤光片图像传感器用显影剂组合物，更详细地说涉及显影力优秀，并且能够更均匀地形成图案且不会在显影后在基板上留下光致抗蚀剂残留物的彩色滤光片图像传感器用显影剂组合物。

技术领域

本发明涉及残留物清除力优秀的彩色滤光片图像传感器用显影剂组合物。

背景技术

图像传感器(Image Sensor)是将光学图像(Optical image)转换成电子信号来显示或者储存在显示装置的半导体元件。图像传感器的应用领域非常广泛，如数码相机、手机相机、摄像机、安全装置、行车记录仪、医疗设备等，对该图像传感器的需求呈指数增长。

一般地说，图像传感器可分为CCD(Charge Coupled Device，电荷耦合元件)和CMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor，金属氧化物半导体元件)两大类。图像传感器具有多个像素，并且每个像素输出对应于入射光的像素信号。此时，多个像素分别通过由光电二极管代表的光电转换元件累积对应于入射光的光电荷，并基于累积的光电电荷输出像素信号。

通常，对于用于固态成像元件(CCD)或互补金属氧化物半导体图像传感器(CIS)等的彩色成像元件，在受光元件上分别设置具有红色(R ed)、绿色(Green)和蓝色(Blue)添加混合原色的滤光片段(Filter segment)的彩色滤光片，以分解颜色。

最近，安装在该彩色成像元件的滤光片的图案大小在2μm以下，缩小至现有的LCD用彩色滤光片图案的1/100至1/200。据此，对于安装在彩色成像元件，提高分辨率与减少残留物成为更重要的项目。

从而，切实需要开发一同使用能够在显影时减少残留物的物质来提供显影液组合物，不留下残留物。

作为用于如上所述的提高残渣清除力的技术，韩国注册专利公报第1 174082号公开了“颜料分散组合物，包含该组合物的彩色滤光片用感光性树脂组合物及其彩色滤光片”可以减少图案的残留并提高分辨率，其中颜料分散组合物包含：(A)颜料；(B)，由以下化学式1表示的单体；(C)，包含由以下化学式2表示的化合物的分散剂；(D)，包含由以下化学式3表示的环状粘合剂树脂的粘合剂树脂；(E)，溶剂。另外，韩国注册专利公报第0904068号公开了“彩色滤光片用感光树脂组合物及其彩色滤光片”，感光树脂组合物包含：(a)丙烯酸树脂、(b)光聚合性单体、(c)光聚合引发剂、(d)颜料以及(e)溶剂，其中(a)丙烯酸树脂是含有烯属不饱和单体作为重复单元的共聚物，所述烯属不饱和单体包含羧基以及烷氧基4-氧代丁酸基团，(b)光聚合性单体是包含具有以下化学式2的结构的甘油甲基丙烯酸酯构成的彩色滤光片用感光树脂组合物。所述彩色滤光片用感光树脂组合物具有优秀的残留特性，并且可以制造精细的像素，从而可以制成高分辨率的彩色滤光片。

发明内容

(要解决的问题)

本发明的目的在于提供如下的彩色滤光片图像传感器用显影剂组合物：显影力优秀，并且能够更均匀地形成图案且不会在显影后在基板上留下光致抗蚀剂残留物。

(解决问题的手段)

为达成上述目的，本发明提供一种彩色滤光片图像传感器用显影剂组合物，其特征在于，包含：由以下化学式1表示的水溶性聚合物；由以下化学式2或者化学式3表示的一种以上的非离子表面活性剂；以及碱性化合物；

(化学式1)

在所述化学式1中，n为1至50的整数，

(化学式2)

在所述化学式2中，R为H或者OH，x、y、z分别是选自0至100中的整数，

(化学式3)