[发明专利]用于多波束扫描式电子显微系统的聚焦调整的方法及系统

摘要

本发明揭示一种扫描式电子显微系统。所述系统包含多波束扫描式电子显微SEM子系统。所述SEM子系统包含：多波束电子源，其经配置以形成多个电子束；样品载物台，其经配置以固定样品；电子光学组合件，其将所述电子束引导到所述样品的部分上；及检测器组合件，其经配置以同时获取所述样品的表面的多个图像。所述系统包含控制器，所述控制器经配置以：从所述检测器组合件接收所述图像；通过分析图像的一或多个图像质量参数而识别所述图像的最好聚焦图像；及基于对应于所述经识别的最好聚焦图像的电子束的聚焦来引导所述多透镜阵列以调整一或多个电子束的聚焦。

主权项

1.一种多波束扫描式电子显微设备，其包括：多波束扫描式电子显微子系统，其包括：多波束电子源，其经配置以形成多个电子束；样品载物台，其经配置以固定样品；电子光学组合件，其包含经配置以将所述多个电子束的至少一部分引导到所述样品的部分上的一组电子光学元件；及检测器组合件，其经配置以同时获取所述样品的表面的多个图像，每一图像与所述多个电子束的电子束相关联；控制器，其包含经配置以执行存储于存储器中的一组程序指令的一或多个处理器，所述组程序指令用于致使所述一或多个处理器执行以下操作：从所述检测器组合件接收所述多个图像；通过分析所述多个所述图像的至少一些所述图像的一或多个图像质量参数而识别所述多个图像的最好聚焦图像或最好像散图像中的至少一者；及基于对应于所述经识别的最好聚焦图像或所述经识别的最好像散图像中的至少一者的电子束的聚焦或像散中的至少一者来引导所述多波束源以调整一或多个电子束的聚焦或像散中的至少一者。