[发明专利]用于多波束扫描式电子显微系统的聚焦调整的方法及系统

权利要求书

1.一种多波束扫描式电子显微设备，其包括：

多波束扫描式电子显微子系统，其包括：

多波束电子源，其经配置以形成多个电子束；

样品载物台，其经配置以固定样品；

电子光学组合件，其包含经配置以将所述多个电子束的至少一部分引导到所述样品的部分上的一组电子光学元件；及

检测器组合件，其经配置以同时获取所述样品的表面的多个图像，每一图像与所述多个电子束的电子束相关联；

控制器，其包含经配置以执行存储于存储器中的一组程序指令的一或多个处理器，所述组程序指令用于致使所述一或多个处理器执行以下操作：

从所述检测器组合件接收所述多个图像；

通过分析所述多个所述图像的至少一些所述图像的一或多个图像质量参数而识别所述多个图像的最好聚焦图像或最好像散图像中的至少一者；及

基于对应于所述经识别的最好聚焦图像或所述经识别的最好像散图像中的至少一者的电子束的聚焦或像散中的至少一者来引导所述多波束源以调整一或多个电子束的聚焦或像散中的至少一者。

2.根据权利要求1所述的设备，其中由所述检测器组合件获取的所述图像中的两者或两者以上具有不同焦点。

3.根据权利要求2所述的设备，其中所述不同焦点是由所述多波束扫描式电子显微子系统的一或多个组件无意地建立。

4.根据权利要求2所述的设备，其中所述不同焦点是由所述多波束扫描式电子显微子系统的一或多个组件有意地建立。

5.根据权利要求1所述的设备，其中由所述检测器组合件获取的所述图像中的两者或两者以上具有不同量的像散。

6.根据权利要求5所述的设备，其中所述不同量的像散是由所述多波束扫描式电子显微子系统的一或多个组件无意地建立。

7.根据权利要求5所述的设备，其中所述不同量的像散是由所述多波束扫描式电子显微子系统的一或多个组件有意地建立。

8.根据权利要求1所述的设备，其中所述控制器经配置以通过分析所述多个所述图像的至少一些所述图像的图像清晰度而识别所述多个图像的最好聚焦图像。

9.根据权利要求1所述的设备，其中所述控制器经配置以：

在识别所述多个图像的最好聚焦之前，忽略缺少用以确定所述一或多个图像的聚焦的足够结构特征的一或多个图像。

10.根据权利要求1所述的设备，其中所述控制器经配置以：

在识别所述多个图像的最好聚焦之前，平均化两个或两个以上图像。

11.根据权利要求10所述的设备，其中所述控制器经配置以：

在识别所述多个图像的最好聚焦之前，平均化两个或两个以上重复图像。

12.根据权利要求1所述的设备，其中所述控制器经配置以：

在识别所述多个图像的最好像散之前，忽略缺少用以确定所述一或多个图像的像散的足够结构特征的一或多个图像。

13.根据权利要求12所述的设备，其中所述控制器经配置以：

在识别所述多个图像的最好像散之前，平均化两个或两个以上图像。

14.根据权利要求13所述的设备，其中所述控制器经配置以：

在识别所述多个图像的最好像散之前，平均化两个或两个以上重复图像。

15.根据权利要求1所述的设备，其中所述多波束电子源包括：

电子枪，其经配置以发射照明波束；及

多透镜阵列组合件，其经配置以将所述照明波束分离成所述多个电子束。