[发明专利]将扫描头放置在支撑表面上的定位臂和方法有效
| 申请号： | 201680049630.5 | 申请日： | 2016-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN108027389B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 哈迈德·萨迪吉安·马南;贾斯珀·温特斯;威廉姆·爱德华·克劳孔布 | 申请（专利权）人： | 荷兰应用自然科学研究组织TNO |
| 主分类号： | G01Q10/04 | 分类号： | G01Q10/04;B23Q1/34;G01B5/00;G12B5/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 翟洪玲;周艳玲 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于相对于表面定位表面扫描测量设备(诸如扫描探针显微镜设备)的扫描头的定位臂。定位臂包括在其第一端的基座，用于用基座将臂安装到静态参考结构。定位臂进一步包括从基座伸展的第一臂构件和第二臂构件，第二臂构件平行于第一臂构件伸展。臂包括在其第二端连接第一臂构件和第二臂构件的桥构件。第一臂构件和第二臂构件通过能形成铰链的连接部分别连接到基座和桥构件中的每一个。定位臂进一步包括致动器，用于在第一臂构件和第二臂构件之间在第一臂构件和第二臂构件的纵向方向上引起相对位移，以在横向于横向位移的方向上摆动定位臂的第二端。桥构件包括用于支撑扫描头的支撑部。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 放置 支撑 表面上 定位 方法 | ||
【主权项】：
1.定位臂，用于相对于表面定位表面扫描测量设备的扫描头，其中所述定位臂包括在其第一端的基座，用于用所述基座将所述臂安装到静态参考结构，其中所述定位臂进一步包括从所述基座伸展的第一臂构件和第二臂构件，所述第二臂构件平行于所述第一臂构件伸展，其中所述定位臂包括在其第二端的桥构件，所述桥构件在所述定位臂的所述第二端连接所述第一臂构件和所述第二臂构件，其中，所述第一臂构件和所述第二臂构件中的每一个均借助能形成铰链的连接部分别连接到所述基座和所述桥构件中的每一个，并且其中所述定位臂进一步包括致动器，用于在所述第一臂构件和所述第二臂构件之间在所述第一臂构件和所述第二臂构件的纵向方向上引起相对位移，以在横向于横向位移的方向上摆动所述定位臂的所述第二端，其中所述桥构件包括用于支撑所述扫描头的支撑部。
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