[发明专利]用于制造器件的方法和器件有效
申请号: | 201680043905.4 | 申请日: | 2016-07-20 |
公开(公告)号: | CN107924977B | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 马丁·翁特比格尔 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/54 | 分类号: | H01L33/54 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 丁永凡;张春水 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提出一种用于制造器件(100)的方法,所述器件具有半导体本体(10)和复合载体(90),其中半导体本体具有后侧的联接点,所述后侧的联接点嵌入部分硬化的连接层(92)中,其中在将用于构成器件的成形体(50)的成形体材料施加到复合载体上并且固定在半导体本体上之前,硬化连接层,以形成由半导体本体和复合载体构成的牢固的复合件。此外,提出一种器件,所述器件尤其通过这种方法制造,其中成形体(50)覆盖半导体本体(10)的侧面,在载体层(91)的俯视图中全环周地包围成形体并且与连接层(92)重叠。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 器件 方法 | ||
【主权项】:
一种用于制造器件(100)的方法,所述器件具有半导体本体(10),所述方法具有如下方法步骤:a)提供所述半导体本体(10),所述半导体本体具有辐射透射面(11)和背离所述辐射透射面的后侧(12),其中所述半导体本体在所述后侧上具有用于电接触所述半导体本体(10)的联接点(70),b)提供复合载体(90),所述复合载体具有载体层(91)和施加到所述载体层(91)上的部分硬化的连接层(92),c)将所述半导体本体(10)施加到所述复合载体(90)上,使得所述联接点(70)进入到部分硬化的所述连接层(92)中,d)硬化所述连接层(92),以形成由所述半导体本体(10)和所述连接载体(90)构成的牢固的复合件,e)在硬化所述连接层之后,将成形体材料施加到所述复合载体上,以形成成形体(50),其中所述成形体覆盖所述半导体本体的侧面(13),f)构成穿过所述载体层(91)和所述连接层(92)的凹部(93),以露出所述联接点(70),和g)用导电材料填充所述凹部(93),使得所述导电材料与所述联接点(70)和所述载体层(91)电接触。
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