[发明专利]亚微米晶片对准有效
| 申请号： | 201680042862.8 | 申请日： | 2016-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN107850761B | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | T·G·格奥尔基耶夫 | 申请（专利权）人： | 高通股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G01M11/00;G02B27/10;G02B27/14;G02B27/62 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 杨林勳 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 某些方面涉及用于晶片光学件中的亚微米对准的系统及技术。一种用以产生集成式透镜堆叠的所揭示晶片间对准方法使用光束分光器(即，50％透明镜面)，所述光束分光器在显微镜物镜聚焦于底部晶片的对准标记上时反射顶部晶片的对准标记。另一种用以产生集成式透镜堆叠的所揭示晶片间对准方法实施互补图案，所述互补图案可在未对准时产生波纹效应以便辅助视觉上确定所述晶片之间的适当对准。在一些实施例中，可组合所述方法以增加精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 微米 晶片 对准 | ||
【主权项】：
1.一种光学晶片堆叠，其包括：第一透明晶片，其包含至少一第一透镜；第二透明晶片，其包含至少一第二透镜；第一隔片晶片，其定位于所述第一透明晶片与所述第二透明晶片之间且包含包括在第一开口周围的第一周边的至少一第一单元，所述第一透镜及所述第二透镜至少部分地突出到所述第一开口中；第一对准标记，其提供于所述第一透明晶片上；第二对准标记，其提供于所述第二透明晶片上；及第一光束分光器层，其在所述第一对准标记与所述第二对准标记之间的光学路径之间的中点处安置于所述第一隔片晶片的表面上。
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