[发明专利]显影液、图案形成方法及电子设备的制造方法有效
| 申请号： | 201680035917.2 | 申请日： | 2016-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN107735730B | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 椿英明;土桥彻;二桥亘 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;C08F12/24;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种显影液、使用该显影液的图案形成方法及包括该图案形成方法的电子设备的制造方法，所述显影液是为了以非常高的水准兼具高精度的微细图案的图案塌陷性能与桥接性能而用于由感光化射线性或感放射线性组合物所得的抗蚀剂膜，且含有具有支链烷基的酮系或醚系溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 图案 形成 方法 电子设备 制造 | ||
【主权项】：
一种显影液，其用于由感光化射线性或感放射线性组合物所得的抗蚀剂膜，所述显影液含有具有支链烷基的酮系或醚系溶剂。
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