[发明专利]光源装置和检查装置在审
申请号: | 201680030969.0 | 申请日: | 2016-05-10 |
公开(公告)号: | CN107615603A | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 中村共则;西泽充哲 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | H01S5/50 | 分类号: | H01S5/50;G01R31/302 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 光源装置包括产生非相干的光的光源和具有表示每个波长的增益的增益特性并且输入作为输入光的由光源输出的非相干的光并输出将该输入光放大后的放大光的光放大器,表示输入光的每个波长的强度的强度分布的中心波长与表示光放大器的每个波长的增益的增益特性的中心波长相比为长波长。 | ||
搜索关键词: | 光源 装置 检查 | ||
【主权项】:
一种光源装置,其特征在于,包括:光源,产生非相干的光;和光放大器,具有表示每个波长的增益的增益特性,输入作为输入光的所述非相干的光,并输出将所述输入光的强度放大后的放大光,表示所述输入光的每个波长的强度的强度分布的中心波长与所述增益特性的中心波长相比为长波长。
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