[发明专利]无接触对齐载具组件的方法、处理载具组件的基板的方法、和无接触对齐载具组件的设备有效
| 申请号： | 201680027738.4 | 申请日： | 2016-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN109154062B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 托马索·维尔切斯;奥利弗·黑梅尔;戴特尔·哈斯;斯蒂芬·班格特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供用于沉积源的无接触传输的设备。该设备包含沉积源组件。沉积源组件包含沉积源。沉积源组件包含第一主动磁性单元。该设备包含在源传输方向上延伸的引导结构。沉积源组件沿着引导结构为可移动的。第一主动磁性单元及引导结构被配置为提供第一磁性悬浮力以悬浮沉积源组件。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 对齐 组件 方法 处理 设备 | ||
【主权项】：
1.一种无接触对齐载具组件的方法，包括以下步骤：在真空腔室中悬浮所述载具组件；在悬浮时移动所述载具组件以相对于预定位置放置所述载具组件，特别是相对于掩模或掩模载具移动所述载具组件；和相对于所述掩模或所述掩模载具在自以下所组成的组所选择的至少一个方向上对齐所述载具组件：基板传输方向、垂直+‑15度的第一方向、及上述方向的组合。
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