[发明专利]泄漏检测器和检测泄漏的方法有效
| 申请号： | 201680025697.5 | 申请日： | 2016-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN107532965B | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | L·迪西默蒂埃;M·皮埃什;F·鲁韦尔 | 申请（专利权）人： | 普发真空公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 雷明;马江立 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于通过检测示踪气体来检测被测物体(A)的泄漏处的泄漏检测器(1)，该泄漏检测器包括：进气口(2)；泵设备(4)；将进气口连接到泵设备的泵管线(3)；示踪气体检测设备(6)，它作为泵设备的旁路安装到泵管线并且包括被构造成使气体分子离子化和测量离子化的气体分子的流的探针(12)和布置在该探针上游的分离膜(8)，其特征在于，分离膜是沉积在示踪气体检测设备的可透气基材(11)上的单原子石墨烯层(9)，该单原子石墨烯层中形成选择孔(10)，该选择孔的最大尺寸(D)小于5埃，使得只有具有比选择孔小的尺寸的气体分子能穿过分离膜到达探针。本发明还涉及一种检测泄漏的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 泄漏 检测器 检测 方法 | ||
【主权项】：
泄漏检测器(1)，用于通过检测示踪气体来检测被测物体(A)的泄漏处，该泄漏检测器(1)包括：‑进气口(2)，‑泵设备(4)，‑将进气口(2)连接到泵设备(4)的泵管线(3)，‑示踪气体检测设备(6)，该示踪气体检测设备作为泵设备(4)的旁路安装到泵管线(3)，该示踪气体检测设备(6)包括：‑‑探针(12)，该探针构造成使气体分子离子化以及测量离子化的气体分子的流，以及‑‑布置在该探针(12)的上游的分离膜(8)，‑其特征在于，该分离膜(8)是沉积在示踪气体检测设备(6)的可透气基材(11)上的单原子石墨烯层(9)，该单原子石墨烯层(9)中形成有选择孔(10)，该选择孔的最大尺寸(D)小于5埃，使得只有具有比选择孔(10)小的尺寸的气体分子能穿过分离膜(8)到达探针(12)。
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