[发明专利]用于电子束系统中像差校正的方法及系统有效
| 申请号： | 201680025524.3 | 申请日： | 2016-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN107533943B | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | C·西尔斯;姜辛容;S·施瑞恩 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/153;H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示一种扫描式电子显微镜系统。所述系统包含电子束源，所述电子束源经配置以产生初级电子束。所述系统包含样品载台，所述样品载台经配置以固定样品。所述系统包含一组电子光学元件，所述组电子光学元件经配置以引导所述初级电子束的至少部分到所述样品的部分上。所述组电子光学元件包含上偏转器组合件及下偏转器组合件。所述上偏转器组合件经配置以补偿所述初级电子束中由所述下偏转器组合件引起的色像差。此外，所述系统包含检测器组合件，所述检测器组合件经配置以检测发源于所述样品的表面的电子。 | ||
| 搜索关键词： | 偏转器 组合件 电子光学元件 初级电子束 配置 检测器组合件 电子束源 载台 扫描式电子显微镜 固定样品 色像差 检测 | ||
【主权项】：
1.一种扫描式电子显微镜设备，其包括：/n电子束源，其经配置以产生初级电子束；/n样品载台，其经配置以固定样品；/n一组电子光学元件，其经配置以引导所述初级电子束的至少部分到所述样品的部分上，其中所述组电子光学元件包含至少上偏转器组合件及下偏转器组合件，其中所述上偏转器组合件经配置以补偿所述初级电子束中由所述下偏转器组合件引起的横向色像差，其中所述上偏转器组合件经配置以旋转与所述上偏转器组合件的非磁性静电元件相关联的电场或磁场中的至少一者来引起所述电场或所述磁场中的至少一者遵循所述下偏转器组合件的主要场的偏转模式；及/n经定位的检测器组合件，其经配置以检测发源于所述样品的表面的电子。/n
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