[发明专利]压印用的模板制造装置有效
| 申请号： | 201680019820.2 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN107735237B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 中村聪;出村健介;松岛大辅;幡野正之;柏木宏之;陈康;I·P·甘纳奇夫 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械电子株式会社;东芝存储器株式会社 |
| 主分类号： | B29C33/38 | 分类号： | B29C33/38;B29C59/02;H01L21/027 |
| 代理公司： | 72002 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 庞乃媛<国际申请>=PCT/JP2016 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的实施方式所涉及的压印用的模板制造装置(1)具备：支撑部(3)，以凸部(12)朝向下方的方式支撑模板(W)，该模板(W)具备具有主面的基体(11)以及凸部(12)，该凸部(12)设置在主面上，具有与主面相反一侧的端面，在其端面上形成有凹凸图案；气化部(5)，设置在支撑部(3)上的模板(W)的下方，使疏液材料气化；以及防附着板(7)，设置在支撑部(3)上的模板(W)的下方，允许气化了的疏液材料向支撑部(3)上的模板(W)的凸部(12)的侧面附着，防止其向凹凸图案附着。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 模板 制造 装置 | ||
【主权项】：
1.一种压印用的模板制造装置，其特征在于，具备：/n支撑部，以使凸部朝向下方的方式支撑模板，该模板具备基体以及上述凸部，该基体具有主面，该凸部设置在上述主面上，具有与上述主面相反一侧的端面，在上述端面上形成有向液状的被转印物按压的凹凸图案；/n气化部，设置在由上述支撑部支撑着的上述模板的下方，使将上述液状的被转印物弹开的疏液材料通过加热器气化；以及/n防附着板，设置在由上述支撑部支撑着的上述模板的下方、并且上述模板和上述气化部之间，允许气化了的上述疏液材料向由上述支撑部支撑着的上述模板的上述凸部的侧面附着，并防止其向上述凹凸图案附着。/n
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