[发明专利]涂敷方法有效
| 申请号： | 201680012166.2 | 申请日： | 2016-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN107249760B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 春本将彦;田中裕二 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | B05D1/40 | 分类号： | B05D1/40;B05D3/04;H01L21/027 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 崔炳哲;向勇 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 利用保持旋转部2使基板W旋转而在基板W上形成涂敷液膜RS，并且利用随着基板W的旋转产生的离心力，将剩余的涂敷液RS的至少一部分推向基板W的周缘部E，使剩余的涂敷液RS沿基板W的周缘部E隆起。之后，利用气体喷嘴4向基板W的周缘部E吹送气体GS，将在周缘部E隆起的剩余的涂敷液RS向基板W外排出。通过利用气体喷嘴4向基板W的周缘部E吹送气体GS，能够破坏涂敷液RS因表面张力不向基板W外排出而积存隆起的均衡状态。因此，利用旋转，既能够形成厚的涂敷液膜RS，又能够使涂敷液膜RS的厚度变得均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 | ||
【主权项】：
一种涂敷方法，其特征在于，包括：利用涂敷喷嘴向基板上喷出涂敷液的工序，利用保持旋转部使所述基板旋转而在所述基板上形成所述涂敷液的液膜，并且利用随着所述基板的旋转产生的离心力，将剩余的涂敷液的至少一部分推向所述基板的周缘部，使剩余的涂敷液沿所述基板的周缘部隆起的工序，在利用所述基板的旋转结束所述基板上的所述涂敷液的干燥前，利用气体喷嘴向所述基板的周缘部吹送气体，将在所述周缘部隆起的剩余的涂敷液向所述基板外排出的气体吹送工序。
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